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ILM450型超高真空多功能溅射系统

 
产品详细说明
 可对外共享的主要仪器设备
仪器设备名称

ILM450型超高真空多功能溅射系统

2

生产厂家及型号

沈阳科仪

购置(研制)价值

70万

用途

薄膜制备

主要技术指标

真空度 10-5


 
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